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无尘车间静电控制方法有哪些？
来源：www.jjwccj.com 发布时间：2019年02月20日
1、静电控制的基本原则：
(1)确定静电控制级别；
(2)尽量减少静电荷的产生；
(3)泄放和中和的办法加速静电荷消散，防止静电积累；
(4)保护产品不受ESD的损坏。
2、确定静电控制的级别：
(1)元器件、组件和设备静电敏感度分级；1级：易遭受0-1999V静电电压损坏的；2级：易遭受2000-3999V静电电压损坏的；3级：易遭受4000-5999V静电电压损坏的；而敏感静电压大于16000V的，便不必采取防静电措施。
(2)静电防护工作区的分级：A级：允许对地静电电位不超过±100V；B级：允许对地静电电位不超过±1000V；实际工程中是分静电电位不超过100V、500V、1000V等对应元器件、组件和设备静电敏感电压的3级。
3、尽量减小静电荷的产生：这是控制静电三步曲的第一步，在这无尘工作环境中，最好的措施：
(2)尽量采用导静电型或静电耗散型材料的器材，减少接触摩擦分离过程产生积累静电荷;
(3)尽量采用减少接触摩擦分离而产生静电荷的生产流程。
4、泄放和中和:这是控制静电三步曲的第二步，在微电子生产的无尘室中最通常的措施是接地，采用导电性或耗散性材料泄放静电荷，以及离子化消电器中和静电荷。
(1)接地：无尘车间应设一个独立静电接地系统(包括地面接地金属网支系统、生产线工作站接地支系统)，以便室内所有设备金属外壳、移动设备的金属支架、防静电器材等安全、有效地将静电荷泄放至大地。工作人员的带电则通过手腕带接地，以及通过防静电鞋或脚跟带再经防静电地面向大地泄放。地面、墙面、顶棚、隔断等是硬接地，设备外壳、移动设备(车、椅、货架等)、工作台等则属软接地。
(2)离子化肖电器：无尘车间中生产组装的元器件、PCB，生产线、工作站上总是难免存在一些不能接地的绝缘导体和绝缘介质材料(例如大多数普通塑料)。在某些环境下，离子化消电器常用来局部消散这些物体上的静电荷，而更经常的是借助于空气离子化来中和在绝缘介质上和孤立导体上的所带静电电荷。
(3)导静电和静电耗散材料：导静电材料和静电耗散材料由于其具有导静电性，也是很好的静电荷泄放材料，而且比金属导体泄放更具有安全性，通常被采用做地板、墙面、工作台、周转容器、镊子、刷子等防静电器材。
5、防止ESD，保护产品：
国际上，半导体、平面液晶显示器，光电子发展很快，集成度越来越高，芯片线径越来越细，对防静电要求越来越高。美国ESD协会已开始修订ANS ESD S20.20-1999静电放电控制大纲，对SSD静电敏感性分类已作了些修改。这给元器件使用者一个警示，不论在人员或设备进行装备制造时，无尘车间告诉你能需要的环境控制要求。如果EPA区域内允许电压达到25V的话，恐怕我们现有的防静电器材、装备、工具以及工程都要经过一番艰苦的努力。
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