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浅析无尘车间空气过滤器的使用要求
来源：www.jjwccj.com 发布时间：2019年01月08日
在半导体生产和制药工业中, 对空气的洁净度要求较高。典型的工作环境中, 每立方英尺空气中含有500000个粒子, 而半导体生产的最新要求是每立方英尺空气中只有1 个粒子。因此, 工作间需要用经过高效过滤器过滤的洁净空气不断地循环清洗。为保持HEPA 过滤器的洁净和寿命, 还需要几段效率较低的预滤器联合使用。
对于工厂、车间排放的废气,要求最严格的是毒性。某些重金属如汞、砷、铬、铍等毒性很大, 其排放限制非常严格。在空气毒性方面, 美国和德国已经通过了新的更严格的立法。执行新的立法后, 空气毒性的限制由原来的20mg/m3 (标准) 降低到010004mg/m3 (标准)。为达到这一目标, 工厂需要更先进的过滤器以除去亚微粒子。
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